[实用新型]用于单晶炉的真空系统过滤器有效
申请号: | 201220396667.4 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN202909576U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 朱亮;曹建伟;郭建宇;王巍;孙明 | 申请(专利权)人: | 上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B01D46/24 | 分类号: | B01D46/24 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及过滤装置,旨在提供一种用于单晶炉的真空系统过滤器。该过滤器包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口;在罐底焊接有一个支撑环,支撑环上设滤芯支撑圆盘;滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔,每个排气孔对应安装一个滤芯;滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区,所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。本实用新型增加了过滤面积,加强了过滤效果,且不易堵塞,减少了清理次数。解决了现有的过滤器过滤效果不好,需较为频繁的清理,且容易堵塞,清理麻烦,影响产品质量的问题;保证了单晶炉内真空抽吸效果,在一定程度上保证了单晶成品率;摇臂机构使得顶盖拆装方便,从而方便了对特制空气滤芯组件的清理。 | ||
搜索关键词: | 用于 单晶炉 真空 系统 过滤器 | ||
【主权项】:
一种用于单晶炉的真空系统过滤器,包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口;其特征在于,在罐底焊接有一个支撑环,支撑环上设滤芯支撑圆盘;滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔,每个排气孔对应安装一个滤芯;滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区,所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。
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