[实用新型]一种等离子物理和化学共沉积装置有效
| 申请号： | 201220402482.X | 申请日： | 2012-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN202849534U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;吴王平 | 申请（专利权）人： | 苏州宏久航空防热材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C16/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及材料表面改性技术，特别提供了一种双辉化学气相沉积装置。该装置为一个密闭的沉积室，沉积室有一至三个进气口和一个出气口，一个阳极和两个阴极组成。沉积室内壁材质为不锈钢，沉积真空室内的结构件为金属和/或石墨材料；沉积室极限真空10-3Pa以下，沉积室内的工作气压0.01Pa-50Pa；进气口气体为氩气、硅烷、金属醇盐等反应气体；装置中阳极接通于沉积室，两个阴极分别接通于靶材和工件材料，其中工件电压范围为0V~-1200V，靶材电压范围为0V~-1200V；装置中工件表面温度为800℃-1200℃，且该温度是工件材料附近局部区域的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 物理 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子物理和化学共沉积装置，包括一个密闭的沉积室，进气控制系统、排气系统、抽真空控制系统和尾气处理系统，其特征在于沉积室有两个进气口和一个出气口，一个阳极、一个放置工件的阴极和一个放置靶材的阴极。
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