[实用新型]固晶机进料系统有效
申请号: | 201220404394.3 | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN202871761U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌 | 申请(专利权)人: | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种固晶机进料系统,包括料盒装置和上下料工作台,料盒装置包括用于传送料盒的左右传送模组和用于逐次将料盒上的基板推入上下料工作台的上下传送模组;上下料工作台包括间隔设置的底板和面板,两板之间设有用于承接基板并传送的传送带装置,传送带装置包括两列平行设置的带轮传送机构,两列带轮传送机构之间设置有一平行于底板的升降板,升降板由一直线驱动机构驱动在底板与面板之间做升降运动。本实用新型自动将料盒中的基板推入上下料工作台,在上下料工作台中基板由升降板与面板固定,便于固晶工作的进行,工作效率高,通过本实用新型的结构,实现了基板的自动进料,有效提高了取放基板的效率,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 固晶机 进料 系统 | ||
【主权项】:
一种固晶机进料系统,其特征在于,包括料盒装置和上下料工作台;所述料盒装置包括左右传送模组和上下传送模组;所述左右传送模组上沿直线依次设置有入料盒位置、料盒工作位置和出料盒位置,左右传送模组包括用于将料盒从入料盒位置传至料盒工作位置的入料爪和用于将料盒从料盒工作位置传至出料盒位置的出料爪;所述上下传送模组包括对应于所述料盒工作位置设置的固定座、可沿固定座升降的升降平台及固定于固定座上的推片机构;所述升降平台的行程最低点位于所述料盒工作位置,用于承载从入料盒位置传送过来的料盒;所述推片机构包括推杆和推杆驱动装置,所述推杆由推杆驱动装置驱动用于将料盒中的基板从料盒中推入上下料工作台;所述上下料工作台包括平行间隔设置的底板和面板,底板与面板之间固定设置有传送带装置,所述传送带装置包括两列平行设置的带轮传送机构,两带轮传送机构的主动轮同轴设置并由一马达驱动同时旋转,两带轮传送机构的从动轮同轴设置;两列带轮传送机构之间设置有一平行于底板的升降板,所述升降板由一直线驱动机构驱动在底板与面板之间做升降运动;所述传送带装置与所述料盒装置的推杆相对应,用于传送从料盒装置上被推杆推入的基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造