[实用新型]多晶硅铸锭炉多点测控系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，包括保温层，保温层上设有边角观察口，用以观察炉体内部状况，保温层内设有坩埚支撑结构，在保温层内部的上、中、下部分设置有多个热电偶，用以检测保温层内部不同区域的温度变化，这些热电偶将实时数据传输给算法模型控制中心，算法模型控制中心通过计算做出判断，调节加热电源，从而调节供给炉内的热量，保持铸锭过程快速稳定地进行。

主权项

一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，包括保温层（9），保温层（9）内部设有坩埚支撑结构（10），其特征在于，在保温层（9）内的上方设有第一热电偶（2），在保温层（9）内的中部设有第二热电偶（3），在坩埚支撑结构（10）下方分别设有第三热电偶（5）、第四热电偶（6）和第五热电偶（7），第一热电偶（2）、第二热电偶（3）、第三热电偶（5）、第四热电偶（6）和第五热电偶（7）分别将数据传输给算法模型控制中心（4）。