[实用新型]锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，要解决的技术问题是精确控制包覆层的膜厚。本实用新型设有反应室、传动装置、沉积装置，反应室为可移动装置，传动装置为传输带循环式传动机，整个传动装置穿置于两端为敞口的四周封闭的分别为预热段、沉积段和降温段的流程通道内。本实用新型与现有技术相比，采用传动装置和可移动式反应室，实现自动化学气相沉积工艺，使反应气体可与粉状基体的各个表面相触，最终在其表面上形成均匀的结晶薄膜层，实现了对粉状基体进行包覆的加工工艺，工艺简单，容易精确控制包覆层的厚度，生产效率高，降低了锂离子电池电极材料的最终成本，有效保护环境。

主权项

一种锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备设有反应室（1）、传动装置（2）、沉积装置（3），所述反应室（1）为可移动装置，所述传动装置（2）为传输带循环式传动机，整个传动装置（2）穿置于两端为敞口的四周封闭的分别为预热段、沉积段和降温段的流程通道（4）内，在传动装置（2）的输送下，所述反应室（1）由上料端经预热段、沉积段、降温段传至下料端，所述沉积装置（3）置于所述的沉积段，在所述流程通道（4）的内侧壁上设有将电能传至反应室（1）的导电轨道。