[实用新型]一种太阳能电池激光边缘刻蚀自动化系统有效
申请号: | 201220408895.9 | 申请日: | 2012-08-17 |
公开(公告)号: | CN202804485U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 魏唯;李佳;万喜新;杨金 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能电池激光边缘刻蚀自动化系统,所述自动化系统包括了两路皮带传送装置,两路机械手传送装置,两台XYθ工件台,三台直线电机滑台,一台激光器,一套激光束扫描聚焦装置。该套系统可以高效地完成太阳能电池片激光边缘刻蚀新工艺的生产,每小时最高设计刻片速度为1800片,较之以往提高产能50%。其特点在于充分地交替错时利用激光刻蚀时间与视觉定位时间,只使用一台激光器,达到近两台激光器的刻蚀加工产能,节约了投资成本,提高了生产和操作的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 激光 边缘 刻蚀 自动化 系统 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池激光边缘刻蚀自动化系统,所述自动化系统包括传送系统以及由激光器(14)和激光束扫描聚焦装置(15) 组成的激光刻蚀系统;其特征在于,所述传送系统包括由前级皮带传送带(5)和后级皮带传送带(6)组成的传送带,设置于传送带两侧对称的两台直线电机滑台(11),设置于直线电机滑台(11)上的直线电机滑块(10),固定在直线电机滑块(10)上的XYθ工件台(12),XYθ工件台(12)随直线电机滑块(10)同步运动,垂直设置于后级皮带传送带(6)上方的直线电机滑台(9),设置于前级皮带传送带(5)上方的前级机械手(7),设置于后级皮带传送带(6)上方的后级机械手(8);所述直线电机滑台(11)一端上方设有CCD检测装置(13);所述激光直线电机滑台(9)上设有激光束扫描聚焦装置(15);所述激光器(14)设置于激光束扫描聚焦装置(15)一侧。
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