[实用新型]直驱式纳米级精密定位平台

摘要

直驱式纳米级精密定位平台，它涉及微纳米定位领域，具体涉及一种直驱式纳米级精密定位平台。本实用新型为解决目前微纳米定位领域压电陶瓷直接连驱动结构器件增大压电陶瓷的损坏几率的问题。所述微动台包括台体、顶丝、顶块、封装式压电陶瓷、螺钉、柔性铰链和移动板，台体内开有凹槽，封装式压电陶瓷装在凹槽内，封装式压电陶瓷的底座部通过螺钉与台体固定，封装式压电陶瓷的移动端外部套装顶块，封装式压电陶瓷的移动端及顶块的一端顶靠在柔性铰链上，顶丝穿过顶块顶靠在封装式压电陶瓷的移动端上，柔性铰链围成为长方形嵌在台体内，移动板设在柔性铰链上且二者制成一体。本实用新型用于微纳米级精密运动及控制领域。

主权项

一种直驱式纳米级精密定位平台，所述微动台包括台体(1)、顶丝(2)、顶块(3)、封装式压电陶瓷(4)、螺钉(5)、柔性铰链(6)和移动板(7)，其特征在于台体(1)内开有凹槽(1‑1)，封装式压电陶瓷(4)装在凹槽(1‑1)内，封装式压电陶瓷(4)的底座部通过螺钉(5)与台体(1)固定，封装式压电陶瓷(4)的移动端外部套装顶块(3)，封装式压电陶瓷(4)的移动端及顶块(3)的一端顶靠在柔性铰链(6)上，顶丝(2)穿过顶块(3)顶靠在封装式压电陶瓷(4)的移动端上，柔性铰链(6)围成为长方形嵌在台体(1)内，移动板(7)设在柔性铰链(6)上且二者制成一体。