[实用新型]板式PECVD硅片碎片清理装置有效
| 申请号： | 201220415034.3 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN202725524U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡晓晨;王敬蕊;陈锐 | 申请（专利权）人： | 国电光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214213 江苏省无锡市宜兴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种板式PECVD硅片碎片清理装置，该装置包括手柄和清洁部，所述清洁部与手柄固定连接，所述清洁部包括左右两支分叉，分叉间分别穿设有主动轴和从动轴，所述主动轴一端设有用于驱动主动轴转动的电机，所述从动轴上绕设有胶面向外的胶带卷，所述胶带卷的自由端与主动轴固定，所述手柄上设有用于控制电机转动的开关。本实用新型清理装置结构简单，成本低廉，可靠性高，可反复使用，设置的胶带卷可以清理较大量的碎片而无需多次来回，提高了清理效率，同时避免了多次来回引起机台污染。 | ||
| 搜索关键词： | 板式 pecvd 硅片 碎片 清理 装置 | ||
【主权项】：
一种板式PECVD硅片碎片清理装置，其特征在于：该装置包括手柄(1)和清洁部(2)，所述清洁部(2)与手柄(1)固定连接，所述清洁部(2)包括左分叉(21)和右分叉(22)，左分叉和右分叉之间分别穿设有主动轴(3)和从动轴(4)，所述主动轴(3)一端设有用于驱动主动轴(3)转动的电机(31)，所述从动轴(4)上绕设有胶面向外的胶带卷(5)，所述胶带卷(5)的自由端(51)与主动轴(3)固定，所述手柄(1)上设有用于控制电机(31)转动的开关(7)。
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