[实用新型]用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板有效
| 申请号： | 201220420182.4 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN202786506U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 潘欢欢;郭宽新;孙海知;宋江 | 申请（专利权）人： | 海润光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214407 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，它包括坩埚垫板本体（1），其特征在于所述坩埚垫板本体（1）的上表面设置有多条纵横交错布置的槽（2），所述槽（2）内嵌置有隔热条（3）或者涂敷有保温涂料。本实用新型由于坩埚垫板本体的上表面设置有多条纵横交错布置的槽，坩埚与坩埚垫板直接接触处的散热量大于坩埚与槽接触处，改变坩埚底部的温度分布达到优先生长并筛选的目的，同时由于槽与槽的间隔，且槽内嵌置有隔热条或者涂敷有保温涂料，能够有效减少坩埚垫板的横向热量散失，使得该高效多晶硅片生产的坩埚垫板具有有效改变晶粒生长顺序并减少横向温度梯度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高效 多晶 硅片 生产 坩埚 垫板 | ||
【主权项】：
一种用于高效多晶硅片生产的坩埚垫板，它包括坩埚垫板本体（1），其特征在于所述坩埚垫板本体（1）的上表面设置有多条纵横交错布置的槽（2）。
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