[实用新型]用于多列传送平坦物体的装置

摘要

本实用新型涉及传送平坦物体的领域。本实用新型尤其涉及在湿法化学的连续式设备中传送例如为硅晶圆的平坦物体的领域。根据本实用新型的用于多列传送平坦物体的装置用于在多个彼此平行设置的列中同时地传送衬底，其包括用于供给衬底的多列的供给区域、用于传送衬底的多列的传送区域以及用于提取由传送区域供给的衬底的多列的提取区域，其中供给区域的每个列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底的、可竖直移动的设备以及用与对所述衬底进行拆堆的机构，并且提取区域的每个列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底的、可竖直移动的设备以及用于对所述衬底进行堆叠的机构。

主权项

用于多列传送平坦物体的装置，其用于在多个彼此平行设置的列中同时地传送衬底（S），所述用于多列传送平坦物体的装置具有用于供给所述衬底（S）的多列的供给区域（1）、用于传送所述衬底（S）的多列的传送区域（2）、以及用于提取由所述传送区域（2）供给的所述衬底（S）的多列的提取区域（3），其中为了与列一致地传送所述衬底（S）， ‑所述供给区域（1）的每一列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底（S）的、能够竖直移动的设备（S1，S2，……）以及用于对所述衬底（S）进行拆堆的机构，并且 ‑所述提取区域（3）的每一列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底（S）的、能够竖直移动的设备（S1’；S2’；……）以及用于对所述衬底（S）进行堆叠的机构。