[实用新型]用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构有效
申请号: | 201220423590.5 | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN202705486U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 韦建敏;张小波;吴圣杰;张晓蓓 | 申请(专利权)人: | 成都虹华环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 谢敏 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构,包括槽体和槽体底部的底座,所述槽体内部凹陷形成反应槽,反应槽中部设有两块竖直的挡板,挡板上开有挡板溢流口,挡板之间还连接有连接板,槽体在连接板的上下两侧分别开有再生液出管口和母液管口,所述再生液出管口和母液管口位于槽体后端面并与反应槽连通,槽体在后端面的中间底部位置开有与反应槽连通的循环液出管口,槽体后端面上部和左右两侧面还开有与反应槽连通的溢流管口。本实用新型的优点在于:本实用新型设计的这种用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构,不仅结构简单、成本低,且密封性好。 | ||
搜索关键词: | 用于 碱性 蚀刻 再生 设备 温控 结构 | ||
【主权项】:
用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构,包括槽体(10)和槽体(10)底部的底座(6),其特征在于:所述槽体(10)内部凹陷形成反应槽(5),反应槽(5)中部设有两块竖直的挡板(4),挡板(4)上开有挡板溢流口(11),挡板(4)之间还连接有连接板(12),槽体(10)在连接板(12)的上下两侧分别开有再生液出管口(9)和母液管口(7),所述再生液出管口(9)和母液管口(7)位于槽体(10)后端面并与反应槽(5)连通,槽体(10)在后端面的中间底部位置开有与反应槽(5)连通的循环液出管口(8),槽体(10)后端面上部和左右两侧面还开有与反应槽(5)连通的溢流管口(3)。
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