[实用新型]一种氯化氢脱氯硅烷装置有效
| 申请号： | 201220428217.9 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN202808348U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 罗邦彦 | 申请（专利权）人： | 四川瑞能硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/07 | 分类号： | C01B7/07 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑;詹永斌 |
| 地址： | 620041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体分离装置，特别是一种氯化氢脱氯硅烷装置，属于多晶硅生产技术领域，所述氯化氢脱氯硅烷装置主要包括冷凝器和气液分离器，所述冷凝器的进口与多晶硅尾气回收系统的氯化氢排放管道相连接，冷凝器的出口与气液分离器的进口相连接，本实用新型的氯化氢脱氯硅烷装置结构简单可靠，能够有效地将回收氯化氢中的氯硅烷去除，能够保证回收氯化氢的质量满足合成系统生产的工艺需求，降低了生产成本和三氯氢硅合成工序的检修频率，减少了环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化氢 硅烷 装置 | ||
【主权项】：
一种氯化氢脱氯硅烷装置，其特征在于：主要包括冷凝器（1）和气液分离器（2），所述冷凝器（1）的进口与多晶硅尾气回收系统的氯化氢排放管道相连接，冷凝器（1）的出口与气液分离器（2）的进口相连接，所述气液分离器（2）上部设置有出气管道，下部设置有排液管道。
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