[实用新型]制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉，由炉体和炉盖构成，其中炉体设于相变保护套内，在炉体与相变保护套之间填充有相变保温介质形成相变保温层。所述相变保温介质为有机相变保温介质或无机相变保温介质。所述有机相变保温介质为石蜡、脂肪酸、高密度乙烯或多元醇。所述无机相变保温介质为结晶水合盐。本实用新型可有效抑制气相沉积炉因各种原因造成的壳体短时升温，结构简单易于实施。

主权项

制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉，由炉体和炉盖构成，其特征在于，其中炉体设于相变保护套内，在炉体与相变保护套之间填充有相变保温介质形成相变保温层。