[实用新型]精密超精密数控机床数字式电液伺服驱动主轴复合装置

摘要

本实用新型涉及一种精密超精密数控机床数字式电液伺服驱动主轴复合装置，包括油缸和与油缸连接的数字式伺服驱动组件，所述油缸为数字式电液伺服油缸，所述数字式电液伺服油缸的两个端盖为静压轴承，所述数字式电液伺服油缸的活塞杆的孔中设置有电主轴。本实用新型选用静压轴承作为数字式电液伺服油缸的端盖，从而直接用来导向作导轨，同时以油缸驱动代替滚珠丝杠驱动，大大提高了驱动刚度，刚度可达4N/μ以上，固有频率可达几十fn/s。在提高刚度，减小摩擦力，提高定位精度的同时，该复合装置由于采用静压轴承和静压油缸，从根本上消除了滚珠丝杠和直线导轨运动时产生的振动，可大大提高加工的光洁度。

主权项

一种精密超精密数控机床数字式电液伺服驱动主轴复合装置，包括油缸和与油缸连接的数字式伺服驱动组件，其特征在于，所述油缸为数字式电液伺服油缸（10），所述数字式电液伺服油缸（10）的两个端盖为静压轴承（2），所述数字式电液伺服油缸（10）的活塞杆（13）一端的孔中设置有电主轴。