[实用新型]磁流体密封真空阀门及真空泵

摘要

本实用新型公开一种磁流体密封真空阀门及真空泵，为解决现有装置易磨损等问题而设计。本实用新型磁流体密封真空阀门至少包括驱动源、运动轴、密封单元和阀体真空内腔，密封单元至少包括磁流体、永久磁铁、磁极、密封主体和径向密封圈。本实用新型磁流体密封真空泵至少包括电机、朕轴器、旋转轴、密封单元和泵体；密封单元至少包括磁流体、永久磁铁、磁极、密封主体和径向密封圈。本实用新型磁流体密封真空阀门及真空泵采用磁流体作为密封单元的主体，替代现有各种密封圈，利用磁流体良好的密封性起到密封作用，密封效果好；旋转轴和/或运动轴处磨损少，延长装置的使用寿命。

主权项

一种磁流体密封真空阀门，至少包括驱动源、连接在驱动源上的运动轴、包围在运动轴根部的密封单元和包围在运动轴端部的阀体真空内腔，其特征在于：所述密封单元至少包括围绕运动轴设置的磁流体、设置在所述磁流体两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体外侧的密封主体、以及设置在所述密封主体端面上的径向密封圈。