[实用新型]太阳能硅片清洗系统有效
申请号: | 201220433044.X | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN202803656U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 左国军 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
地址: | 213125 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能硅片清洗系统,包括:清洗槽、设于槽体上方的硅片滚筒传输装置、和设置在传送装置上方和下方,用于喷射清洗硅片的多个喷淋管,其中,所述的清洗槽沿硅片传输方向分成至少两个槽体,所述的喷淋管分成对应于各个槽体的喷淋组。本实用新型采用分步式喷淋清洗方式对带酸硅片进行多次清洗,硅片清洗地更加彻底,并且将清洗较干净的硅片的用水进行循环利用,节约用水资源。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 清洗 系统 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片清洗系统,包括:清洗槽、设于槽体上方的硅片滚筒传输装置、和设置在传送装置上方和下方,用于喷射清洗硅片的多个喷淋管,其特征在于,所述的清洗槽沿硅片传输方向分成至少两个槽体,所述的喷淋管分成对应于各个槽体的喷淋组。
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