[实用新型]线性液位检测装置有效
| 申请号： | 201220433439.X | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN202814498U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/296 | 分类号： | G01F23/296 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线性液位检测装置，包括槽体、设于槽体顶部的检测装置、和从槽体顶部插入到槽体底部的进液管。本实用新型结构简单，检测结果及时准确，能够有效控制硅片制作工艺过程中槽体内药液的体积和浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种线性液位检测装置，其特征在于包括：槽体、设于槽体顶部的检测装置、和从槽体顶部插入到槽体底部的进液管。
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