[实用新型]OLED蒸镀用掩膜板有效
申请号: | 201220434085.0 | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN202786401U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 高昕伟 | 申请(专利权)人: | 四川虹视显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板。本申请的蒸镀掩膜板包括设置在掩膜板本体上的至少一个蒸镀单元,每一个蒸镀单元包含呈规则排列的蒸镀缺口,所述掩膜板本体上位于其蒸镀单元处的厚度小于该掩膜板本体的外形厚度。由于掩膜板本体上位于其蒸镀单元处的厚度较小,因此可减小该处受重力影响而产生的下垂现象,同时能够减少阴影效应所导致的质量问题,由此提高蒸镀品质。 | ||
搜索关键词: | oled 蒸镀用掩膜板 | ||
【主权项】:
OLED蒸镀用掩膜板,包括设置在掩膜板本体(1)上的至少一个蒸镀单元(3),每一个蒸镀单元(3)包含呈规则排列的蒸镀缺口(301),其特征在于:所述掩膜板本体(1)上位于其蒸镀单元(3)处的厚度(H1)小于该掩膜板本体(1)的外形厚度(H2)。
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