[实用新型]一种多晶硅料干燥系统有效
| 申请号： | 201220436762.2 | 申请日： | 2012-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN202813984U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/00 | 分类号： | F26B9/00;F26B21/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅料干燥系统，包括鼓风机、通过第一管道与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置、该鼓风机的出风口通过第二管道与二级过滤装置的进风口连接、该二级过滤装置的出风口通过第三管道与烘干处理槽的进风口连接。本实用新型利用鼓风机及其散热来加热空气，再从各个方向与硅片进行充分接触，从而达到安全、高效、低成本地烘干硅片的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 干燥 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅料干燥系统，其特征在于，包括鼓风机（1）、通过第一管道（2）与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置（3）、该鼓风机的出风口通过第二管道（4）与二级过滤装置（5）的进风口连接、该二级过滤装置（5）的出风口通过第三管道（6）与烘干处理槽（7）的进风口连接。
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