[实用新型]易于清洗压力调节阀的化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提供一种易于清洗压力调节阀的化学气相沉积设备，至少包括清洗气体发生装置、及通过主通道依次顺序连通的反应室、隔离阀、压力调节阀及抽气泵，其中，所述清洗气体发生装置通过清洗气体供应通道连通至所述反应室的第一输入端，所述清洗气体供应通道与一设有第一阀门的旁通道的一端连通，位于所述隔离阀和压力调节阀之间的主通道与所述旁通道的另一端连通。本实用新型增加了直接引入清洗气体至压力调节阀的旁通道，有效地针对压力调节阀及与其连接的通道上附着的副产物进行清除，保证了压力调节阀的长期正常运转；本实用新型中的相关装置及阀门均通过计算机进行控制，易于操作，且本实用新型设计简单方便，便于实施，成本低。

主权项

一种易于清洗压力调节阀的化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备至少包括：清洗气体发生装置、及通过主通道依次顺序连通的反应室、隔离阀、压力调节阀及抽气泵；其中，所述清洗气体发生装置通过清洗气体供应通道连通至所述反应室的第一输入端，所述清洗气体供应通道与一设有第一阀门的旁通道的一端连通，位于所述隔离阀和压力调节阀之间的主通道与所述旁通道的另一端连通。