[实用新型]兼容气相反应设备的废气冷却与围护装置有效
申请号: | 201220440291.2 | 申请日: | 2012-08-31 |
公开(公告)号: | CN202849540U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 李茂碷;李承恩 | 申请(专利权)人: | 李承恩 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 郑利华 |
地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种兼容气相反应设备的废气冷却与围护装置,其包含一围体及一冷却装置;该围体内部形成密室,使气相反应设备的反应室及气体钢瓶设置在密室内;该冷却装置包含冷凝器,设置在冷凝器上并连通密室的气排出口,设置在冷凝器内的内胆,连通于反应室与内胆的排气管路,及连通冷凝器的液氮输入管。这样从液氮输入管输入液态氮,使冷却装置利用液态氮冷却内胆的废气高温,同时在冷凝器中汽化的氮气充满围体的密室形成正压,达到防止含氧大气侵入的防爆作用。本实用新型兼容气相反应设备的废气冷却与围护装置还能够安全排出反应气体及除去酸性化学物质。 | ||
搜索关键词: | 兼容 相反 设备 废气 冷却 围护 装置 | ||
【主权项】:
一种兼容气相反应设备的废气冷却与围护装置,其包含用于对一反应室形成空气隔绝状态的一围体及一冷却装置,其特征在于,该围体为内部形成一密室的密闭结构体,使该反应室设置在该密室内;该冷却装置包含一冷凝器,一设置在该冷凝器并连通该密室的气排出口,一设置在该冷凝器内的内胆,一连通于该反应室与该内胆的高温排气管路,及用以输入液态氮至该冷凝器的液氮输入管。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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