[实用新型]一种等离子真空镀膜室

摘要

本实用新型公开了一种等离子真空镀膜室，其特征在于，镀膜室内设有金属网罩，金属网罩设有电子逃逸口，所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内，所述金属棒与高脉冲电源电连接，其两端搭通过玻璃砖固定在支架上，所述金属棒与玻璃砖之间连接方式为搭接，搭接处存有的间隙填充有铝箔。本实用新型通过在金属网罩上设置电子逃逸口，可以将电子从某一固定方向释放出来，从而避免了电荷在工件、网罩、玻璃砖上的积累，可以显著减少打火的次数。玻璃砖通过开设小孔使其自身在高温下不会爆裂；通过在金属棒和玻璃砖之间填充铝箔，可以有效缓解空心阴极造成的打火现象。

主权项

一种等离子真空镀膜室，其特征在于，镀膜室内设有金属网罩，金属网罩设有电子逃逸口，所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内，所述金属棒与镀膜室外高脉冲电源电连接，其两端通过玻璃砖固定在支架上，所述金属棒与玻璃砖之间连接方式为搭接，搭接处存有的间隙填充有铝箔。