[实用新型]一种小型化微机械滤波器

摘要

本实用新型公开了一种小型化微机械滤波器。该滤波器基于微机械工艺制作，由上、下两层介质材料叠加而成；上介质层下表面有交指型金属电极层；下介质层上表面有接地键合焊环，焊环之间有采用刻蚀工艺制备的空腔；上、下介质层上均设有通孔，通孔内壁有金属层；上、下介质层表面有表面电极层，其中，上介质层表面设有输入、输出引出线。该滤波器可以满足微波滤波器工作频率高、带宽大、损耗小等指标要求，具有体积小、全密封、可靠性高的特点。

主权项

一种小型化微机械滤波器，包括叠加的上介质层和下介质层，其特征在于：所述上介质层和下介质层之间设置有带抽头信号线的交指电极的上介质层下表面金属电极层以及带接地电极环的下介质层上表面金属电极层；所述与下介质层上表面金属电极层相接触的下介质层上表面设置有与接地电极环相匹配的空腔；所述上介质层表面上方设置有上介质层上表面金属层，所述下介质层表面下方设置有下介质层下表面金属层，所述上介质层上还设置有与上介质层下表面金属电极层相配合的通孔，所述下介质层上还设置有与下介质层上表面金属电极层相配合的通孔，所述上介质层上表面金属层的电极通过上介质层通孔与上介质层下表面金属电极层的电极连接；所述下介质层下表面金属层的电极通过下介质层通孔与下介质层上表面金属电极层的电极连接；所述下介质层上表面金属电极层的接地电极环与上介质层下表面金属电极层的接地电极环连接；所述上、下介质层中的任一个介质层表面设有输入、输出信号线。