[实用新型]一种带显示功能的反应机台

摘要

本实用新型公开了一种带显示功能的反应机台，所述反应机台在所述外壁外表面设置一显示装置，用于将反应机台的反应腔内部参数以图案或色彩的方式醒目的显示在显示装置上，使得反应机台的操作人员在较远距离和不同角度都可以直观的观察到反应腔内参数的变化，便于操作人员对反应制程进行跟踪和修改。本实用新型的显示装置作为辅助显示，将反应腔内重要的工艺参数在显示装置上进行显示。同时该反应机台的控制装置还包括一可编辑的输入端口，所述可编辑的输入端口根据用户需求，可以输入不同的显示参数指令，从而可以实现在所述显示装置上自定义显示反应腔内不同参数情况。

主权项

一种带显示功能的反应机台，所述反应机台包括一控制装置、一外壁及所述外壁围成的反应腔，所述反处应腔内放置待处理基片，其特征在于：所述外壁外表面设置一显示装置，所述控制装置包括一参数接收端和一控制端，所述参数接收端用于测量所述反应腔内的参数，所述控制端和所述显示装置相连，所述控制端将所述参数接收端测得的反应腔内的参数在所述显示装置上显示为对应的参数数值或相应的图形表示。