[实用新型]多晶硅氢化炉的热场结构有效
| 申请号： | 201220451254.1 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202705052U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 方定盛 | 申请（专利权）人： | 美尔森先进石墨（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215301 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘和底盘，隔热罩具有一容置腔，该容置腔朝向底盘开设有一开口，底盘封闭该开口，隔热盘定位设置在底盘朝向容置腔的一侧面上，且隔热盘容置于容置腔的内部，另在隔热盘上设置有多个电极座；在容置腔内还设置有多组呈倒U型的加热棒单元，该多组加热棒单元皆由一对加热棒组合体和一连接块相连接而成，其中，该对加热棒组合体均由至少两根加热棒从上而下依次可拆卸固定连接而成，从而使加热棒单元的电阻值可调，而且每根加热棒皆采用等静压石墨材质制成，既提高了加热棒电阻率的可靠性，又延长了加热棒的使用寿命，大大提高了热场的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 氢化 结构 | ||
【主权项】：
一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘（2）和底盘（3），所述隔热罩具有一容置腔（1），该容置腔朝向所述底盘开设有一开口，所述底盘封闭该开口，所述隔热盘（2）定位设置在所述底盘（3）朝向容置腔的一侧面上，且所述隔热盘容置于所述容置腔的内部，另在所述隔热盘（2）上设置有多个电极座（20）；其特征在于：在所述容置腔（1）内还设置有多组呈倒U型的加热棒单元（4），每组加热棒单元的两底端均分别与其相对应的电极座定位连接。
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