[实用新型]金属有机物化学气相沉积设备及用于其中的隔离装置

摘要

本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的隔离装置，该隔离装置包含：第一隔离部分和第二隔离部分；第一隔离部分包含：第一环形挡板，与第一环形挡板相连接的支撑部，以及与支撑部相连接的若干个连杆；第二隔离部分包含第二环形挡板，第一隔离部分和第二隔离部分相结合时，第一环形挡板围绕第二环形挡板，第二环形挡板和支撑部相接触。采用这种分体式结构，既能满足快速升降温的需求，又能满足降低热能损耗的需求。

主权项

一种用于金属有机物化学气相沉积设备的隔离装置，其特征在于，包含：第一隔离部分和可与所述第一隔离部分相分离的第二隔离部分；所述第一隔离部分包含：第一环形挡板（11），与所述第一环形挡板（11）相连接的支撑部（12），以及与所述支撑部（12）相连接的若干个连杆（13）；所述第二隔离部分包含：第二环形挡板（21）；所述第一隔离部分和所述第二隔离部分相结合时，所述第一环形挡板（11）围绕所述第二环形挡板（21），所述第二环形挡板（21）和所述支撑部（12）相接触。