[实用新型]一种用于大气压等离子体聚合的装置有效
申请号: | 201220456849.6 | 申请日: | 2012-09-07 |
公开(公告)号: | CN202881388U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 唐晓亮;陈阳;程曼丽;陈宝同;邱高 | 申请(专利权)人: | 东华大学 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人: | 宋缨;孙健 |
地址: | 201620 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于大气压等离子体聚合的装置,包括聚合反应系统、电源控制系统、进气系统,所述的聚合反应系统包括反应容器、反应基材、上电极、下电极,所述的反应容器内前部放置反应基材,反应容器外表面后部上方覆盖有上电极,下方覆盖有下电极;所述的反应容器前端设有出气管,后端通过进气管连接进气系统的溶液瓶;所述的进气系统包括溶液瓶、气瓶,所述的气瓶通过连接管连接溶液瓶。本实用新型可在大气压环境下,通过调节反应间隙的宽度、进气系统的气体流量,在反应基材上,等离子体聚合形成薄膜,并且能够选择不同的单体来进行等离子体聚合,从而形成多种薄膜,具有设计合理、结构清晰、操作简便、应用广泛等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 大气压 等离子体 聚合 装置 | ||
【主权项】:
一种用于大气压等离子体聚合的装置,包括聚合反应系统、电源控制系统(5)、进气系统,其特征在于:所述的聚合反应系统包括反应容器(3)、反应基材(8)、上电极(1)、下电极(2),所述的反应容器(3)内前部放置反应基材(8),反应容器(3)外表面后部上方覆盖有上电极(1),下方覆盖有下电极(2),且所述的反应基材(8)置于上电极(1)和下电极(2)之间间隙区域以外;所述的上电极(1)、下电极(2)分别连接电源控制系统(5)的两端;所述的反应容器(3)前端设有出气管(7),后端通过进气管(6)连接进气系统的溶液瓶(11);所述的进气系统包括溶液瓶(11)、气瓶(9),所述的气瓶(9)内装有载气,所述的气瓶(9)通过连接管(4)连接溶液瓶(11),所述的连接管(4)上设有气阀;所述的溶液瓶(11)内装有用于聚合的单体溶液,所述的进气管(6)末端高度位于溶液瓶(11)内液面以上,所述的连接管(4)末端高度位于溶液瓶(11)内液面以下。
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