[实用新型]定量蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201220457286.2 申请日: 2012-09-07
公开(公告)号: CN202925094U 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 刘马林;邵友林;刘兵;朱钧国;张秉忠 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;G21C21/02;G21C21/14
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 韩国胜
地址: 100084 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及液体蒸发技术领域,特别涉及一种定量蒸发装置。该装置包括:液体罐、液体流量控制器、电热球、气源和气体流量计;所述液体罐内装有待蒸发的液体,液体罐下连有液体流量控制器;所述气源用来提供夹带气;所述液体流量控制器通过管路与电热球连接;所述电热球还与气体流量计相连,电热球用于加热流入其中的液体并使液体全部汽化;所述气体流量计位于气源和电热球之间,用来控制夹带气的流量。本实用新型提供的定量蒸发装置,通过采用液体流量控制器和气体流量计准确控制蒸发量,实现了液体蒸发的定量自动化控制,并且本装置结构和工艺简单,易于实施和操控,生产效率高,当蒸发量随工艺要求变化时,重新调整工艺参数也较为简单。
搜索关键词: 定量 蒸发 装置
【主权项】:
一种定量蒸发装置,其特征在于,包括液体罐、气源、液体流量控制器、电热球和气体流量计;所述气源用来提供夹带气;所述液体罐内装有待蒸发的液体,液体罐下连有液体流量控制器;所述液体流量控制器通过管路与电热球连接;所述电热球还与气体流量计相连,电热球用于加热流入其中的液体并使液体完全汽化;所述气体流量计位于气源和电热球之间,用来控制夹带气的流量。
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