[实用新型]定量蒸发装置有效
申请号: | 201220457286.2 | 申请日: | 2012-09-07 |
公开(公告)号: | CN202925094U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 刘马林;邵友林;刘兵;朱钧国;张秉忠 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;G21C21/02;G21C21/14 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100084 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及液体蒸发技术领域,特别涉及一种定量蒸发装置。该装置包括:液体罐、液体流量控制器、电热球、气源和气体流量计;所述液体罐内装有待蒸发的液体,液体罐下连有液体流量控制器;所述气源用来提供夹带气;所述液体流量控制器通过管路与电热球连接;所述电热球还与气体流量计相连,电热球用于加热流入其中的液体并使液体全部汽化;所述气体流量计位于气源和电热球之间,用来控制夹带气的流量。本实用新型提供的定量蒸发装置,通过采用液体流量控制器和气体流量计准确控制蒸发量,实现了液体蒸发的定量自动化控制,并且本装置结构和工艺简单,易于实施和操控,生产效率高,当蒸发量随工艺要求变化时,重新调整工艺参数也较为简单。 | ||
搜索关键词: | 定量 蒸发 装置 | ||
【主权项】:
一种定量蒸发装置,其特征在于,包括液体罐、气源、液体流量控制器、电热球和气体流量计;所述气源用来提供夹带气;所述液体罐内装有待蒸发的液体,液体罐下连有液体流量控制器;所述液体流量控制器通过管路与电热球连接;所述电热球还与气体流量计相连,电热球用于加热流入其中的液体并使液体完全汽化;所述气体流量计位于气源和电热球之间,用来控制夹带气的流量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220457286.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的