[实用新型]一种提拉法晶体生长用热场装置有效
申请号: | 201220458146.7 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN202830220U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 曹远虎;梁万国;张婷 | 申请(专利权)人: | 江西匀晶光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 332000 江西省九*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种提拉法晶体生长用热场装置,包括坩埚,坩埚置于热场中央,坩埚与外保温坩埚之间填满保温粉,外保温坩埚外同心设置感应线圈,坩埚口上方同心设置圆筒状蓝宝石晶体内衬,圆筒状蓝宝石晶体内衬上端口设有圆片状蓝宝石晶体内衬盖,圆筒状蓝宝石晶体内衬同心设有带观察孔的保温层,圆片状内衬盖上设有带籽晶杆孔的外围保温层。具有热场稳定、寿命长,使用时不容易污染原料、制作简单、操作方便、节约成本的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 提拉法 晶体生长 用热场 装置 | ||
【主权项】:
一种提拉法晶体生长用热场装置,其特征在于,包括坩埚,坩埚(6)置于热场中央,坩埚(6)与外保温坩埚(13)之间填满保温粉,外保温坩埚(13)外同心设置感应线圈7,坩埚(6)口上方同心设置圆筒状蓝宝石晶体内衬(3),圆筒状蓝宝石晶体内衬(3)上端口设有圆片状蓝宝石晶体内衬盖(2),圆筒状蓝宝石晶体内衬(3)同心设有带观察孔(4)的保温层,圆片状内衬盖(2)上设有带籽晶杆孔(8)的外围保温层(1)。
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