[实用新型]晶体硅太阳能电池扩散炉进出气体稳定装置有效
| 申请号： | 201220460322.0 | 申请日： | 2012-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN202830231U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 邱军辉;王世贤;黄勤健;南晨;龚丽坤 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214426 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池扩散炉进出气体稳定装置，它包括炉管（1）、进气管（2）以及排气管（3），其特征在于所述进气管（2）以及排气管（3）从炉管（1）的尾部伸入炉管（1）内，所述进气管（2）与排气管（3）分别位于炉管（1）的上部与下部，所述进气管（2）的下表面设置有多个进气孔（4），所述排气管（3）的上表面设置有多个排气孔（5）。本实用新型由于进气管的下表面设置有多个进气孔，排气管的上表面设置有多个排气孔，通入的反应气体可以通过进气管多点进气和排气管多点排气，气流从各个气孔进出，平行流过硅片表面，使得气体在炉管内分布均匀，提高整管磷扩散的片间、片内方阻均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 太阳能电池 扩散 进出 气体 稳定 装置 | ||
【主权项】：
一种晶体硅太阳能电池扩散炉进出气体稳定装置，它包括炉管（1）、进气管（2）以及排气管（3），其特征在于所述进气管（2）以及排气管（3）从炉管（1）的尾部伸入炉管（1）内，所述进气管（2）与排气管（3）分别位于炉管（1）的上部与下部，所述进气管（2）的下表面沿进气管（2）的长度方向设置有多个进气孔（4），所述排气管（3）的上表面沿排气管（3）的长度方向设置有多个排气孔（5）。
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