[实用新型]一种大行程、高精度的微动台有效
| 申请号： | 201220468603.0 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN202771265U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 袁庆丹 | 申请（专利权）人： | 袁庆丹 |
| 主分类号： | G05D3/00 | 分类号： | G05D3/00 |
| 代理公司： | 佛山市永裕信专利代理有限公司 44206 | 代理人： | 杨启成 |
| 地址： | 528000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种大行程、高精度的微动台，其特征在于包括宏运动部分、微运动部分、微电脑控制装置，宏运动部分包括直线导轨、由精密滚珠丝杠机构带动的宏动台、光栅测量器，微运动部分包括设置在宏动台上的微动驱动机构、由微动驱动机构带动的工件固装置、激光干涉测量仪，光栅测量器的电信号输出、激光干涉测量仪的电信号输出分别与微电脑控制装置的电信号输入相连，微电脑控制装置的控制电信号输出分别与精密滚珠丝杠机构的控制电信号输入、微动驱动机构的控制电信号输入相连。本实用新型与已有技术相比，具有能输出纳米量级的位移，具备较大的驱动力和运动范围，高的分辨率和控制精度，能方便地实现微定位的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行程 高精度 微动 | ||
【主权项】：
一种大行程、高精度的微动台，其特征在于包括宏运动部分、微运动部分、微电脑控制装置，宏运动部分包括直线导轨、由精密滚珠丝杠机构带动的宏动台、光栅测量器，微运动部分包括设置在宏动台上的微动驱动机构、由微动驱动机构带动的工件固装置、激光干涉测量仪，光栅测量器的电信号输出、激光干涉测量仪的电信号输出分别与微电脑控制装置的电信号输入相连，微电脑控制装置的控制电信号输出分别与精密滚珠丝杠机构的控制电信号输入、微动驱动机构的控制电信号输入相连。
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