[实用新型]一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器

摘要

本实用新型涉及一种籽晶夹持器，旨在提供一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器。该籽晶夹持器包括柱状的籽晶夹头本体，其底部开有向内的空腔；在籽晶夹头本体的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个相交的轴向切割面；该籽晶夹持器还包括一个籽晶夹头滑块。本实用新型通过调整籽晶夹头调整螺钉，可以改变籽晶夹头本体与籽晶夹头滑块间的中心距，从而达到夹紧或松开籽晶的目的；夹持机构可夹持各种尺寸籽晶，只需将籽晶尾部加工成长方体即可；且籽晶与夹持机构为面接触，夹持牢固，不会产生晃动和应力集中；通过改变籽晶夹头滑块与籽晶夹头本体的相对高度，可以调整籽晶固定高度。

主权项

一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括柱状的籽晶夹头本体，其底部开有向内的空腔；其特征在于，在籽晶夹头本体的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个相交的轴向切割面；该籽晶夹持器还包括一个籽晶夹头滑块，具有下述结构中的任意一种：（1）籽晶夹头滑块呈条状，具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿长度方向开有缺口，该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；该籽晶夹持器还包括一个套筒，所述籽晶夹头本体和籽晶夹头滑块均位于套筒内部，籽晶夹头滑块置于籽晶夹头本体的缺口内，且籽晶夹头滑块的缺口与籽晶夹头本体的缺口相对；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的套筒上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿套筒壁设置；或者，（2）籽晶夹头滑块的外形呈柱状，其内部开设轴向的通孔，所述籽晶夹头本体贯穿于通孔内；沿通孔内壁的轴向设有凸台，凸台具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿轴向开设有缺口，该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的籽晶夹头滑块的壁上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿籽晶夹头滑块的壁设置。