[实用新型]一种改善非晶硅薄膜光致衰退效应的装置

摘要

本实用新型公开一种改善非晶硅薄膜光致衰退效应的装置，包括热丝化学气相沉积真空室及真空泵，真空室的顶部装有混合气体进气管道，真空室内部装有分解混合气体的电热丝和加热玻璃衬底的电加热器，在真空室内相对两侧的内壁上各装一个类太阳光谱的氙灯持续照射本征非晶硅薄膜的沉积过程，氙灯的安装位置高于玻璃衬底的上表面。通过在热丝化学气相沉积过程中，以类太阳光谱的氙灯持续照射薄膜形成的整个过程，薄膜在形成的整个过程经受类似耐光照性能的训练，提高薄膜成形后的光照稳定性能，在光照条件下，薄膜内部微结构向着有利于抗光照衰退的趋势转化，使得非晶硅薄膜光致衰退效应得到改善。

主权项

一种改善非晶硅薄膜光致衰退效应的装置，包括热丝化学气相沉积真空室及真空泵，所述真空室的顶部装有混合气体进气管道，真空室内部装有分解混合气体的电热丝和加热玻璃衬底的电加热器，其特征在于，在真空室内相对两侧的内壁上各装一个氙灯，所述氙灯的安装位置高于玻璃衬底的上表面。