[实用新型]金属有机物化学气相沉积设备的载片盘

摘要

本实用新型公开了一种用于金属有机物化学气相沉积设备的载片盘，通过在载片盘下表面的特定位置处的圆周方向设置矩形或者曲面形式至少一条凸槽或者凹槽，或者在载片盘上表面的特定位置处设置至少一条矩形或者曲面形式凹槽，或者以上方式混合设置。本实用新型的优点是通过修正载片台不同圆周等处的厚度，改变载片台的局部热阻，以达到一次性修正由于加热部件制造误差和系统设计误差造成的温度不均性问题。本实用新型最终能实现载片台温度均匀性达到1摄氏度以内，并能实现设计上的所需要的特殊温度分布，以适应大尺寸外延生长的需求。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备的载片盘，载片盘（23）包括载片盘上表面（25）和载片盘下表面（29），载片盘上表面（25）上设置浅槽放置衬底（24），其特征在于在多区加热系统的相邻加热片耦合对应的载片盘下表面（29）位置附近处圆周方向设置至少一条凸槽或凹槽（31）。