[实用新型]一种新型曝光装置有效
| 申请号： | 201220487400.6 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202794851U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 朱婉平 | 申请（专利权）人： | 深圳市万佳原丝印器材有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518126 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型曝光装置，包括机台和设置在机台上的曝光区装置，曝光区装置包括壳体和设置在壳体内部上方的曝光器，曝光区装置两侧分别设置一可水平面滑入或滑出壳体内的曝光台，曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于底板上的上盖，上盖下表面压贴有耐拉膜，底板内设置抽真空导管，上盖边缘与底板边缘密封连接，抽真空导管与抽真空装置连接，抽真空装置包括真空泵与真空储气罐，真空泵与真空储气罐连接，真空储气罐分别与抽真空导管连接。本实用新型的一种新型曝光装置结构简单、提高曝光出产效率，而且避免抽真空装置中的真空泵频繁开启和关闭，避免真空泵疲劳磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种新型曝光装置，其特征在于：包括机台和设置在所述机台上的曝光区装置，所述曝光区装置包括壳体和设置在所述壳体内部上方的曝光器，所述曝光区装置两侧分别设置一可水平面滑入或滑出所述壳体内的曝光台，所述曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于所述底板上的上盖，所述上盖下表面压贴有耐拉膜，所述底板内设置抽真空导管，所述上盖边缘与所述底板边缘密封连接，所述抽真空导管与抽真空装置连接，所述抽真空装置包括真空泵与真空储气罐，所述真空泵与所述真空储气罐连接，所述真空储气罐分别与所述抽真空导管连接。
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