[实用新型]MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统有效
| 申请号： | 201220491118.5 | 申请日： | 2012-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN202794059U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 谭振新;秦毅恒;顾强;罗九斌;明安杰 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统，其包括控制计算机及用于放置待测晶圆的晶圆平台，所述晶圆平台通过晶圆平台控制器与控制计算机相连；所述晶圆平台上放置有探针台，所述探针台通过探针台控制器与控制计算机相连；所述控制计算机还与用于获取固有频率及图像的测试模块电连接。本实用新型利用表面形貌图像对比和激光测振频率对比的原理，对MEMS结构的表面缺陷和内部缺陷进行静态和动态的检测，判断所制得的MEMS产品是否可以进入后续的封装流程。该检测系统及检测方案为晶圆级自动检测，且为非接触式无损检测，适用于大规模的生产线，节约人力，检测结果准确、检测效率高，能够节约MEMS产品在检测方面的成本。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 缺陷 晶圆级 自动检测 系统 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统，其特征是：包括控制计算机（1）及用于放置待测晶圆（9）的晶圆平台（5），所述晶圆平台（5）通过晶圆平台控制器（6）与控制计算机（1）相连；所述晶圆平台（5）上放置有探针台（7），所述探针台（7）通过探针台控制器（8）与控制计算机（1）相连；所述控制计算机（1）还与用于获取固有频率及图像的测试模块（4）电连接。
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