[实用新型]一种基于纳米孔的DNA测序装置

摘要

一种基于纳米孔的DNA测序装置，包括SOI硅片，在其上部刻蚀有倒金字塔形微腔，在其下部刻蚀有柱状孔，倒金字塔形微腔塔顶为固态纳米孔，在SOI硅片上部有石墨烯，在石墨烯刻蚀有石墨烯纳米孔，石墨烯纳米孔和固态纳米孔同轴，铂电极和纵向微弱电流测量装置及电源构成纵向微弱电流测量回路，金电极和横向微弱电流测量装置及电源构成横向微弱电流测量回路；将SOI硅片、电源和电流表组成电路，通过测定DNA穿过纳米孔时电路中电流强度的变化，实现对DNA的测序。

主权项

一种基于纳米孔的DNA测序装置，其特征在于：包括SOI硅片（1），置于SOI硅片（1）内的二氧化硅埋层（2），在二氧化硅埋层（2）上部的SOI硅片（1）上刻蚀有倒金字塔形微腔（21），在二氧化硅埋层（2）下部的SOI硅片（1）上刻蚀有直径大于倒金字塔形微腔（21）塔底直径的柱状孔，倒金字塔形微腔（21）的塔顶为固态纳米孔（20），二氧化硅薄膜（5）包覆在SOI硅片（1）外部，在柱状孔底部的二氧化硅薄膜（5）外部包覆有金属铂薄膜（6），在SOI硅片（1）上部有通过金电极（12）固定于二氧化硅薄膜（5）上的石墨烯（8），在石墨烯（8）刻蚀有石墨烯纳米孔（19），石墨烯纳米孔（19）和固态纳米孔（20）同轴，在金电极（12）两端的SOI硅片（1）外部上下采用聚二甲基硅氧烷（10）包围形成空腔，空腔中填充有电解液（18），置于SOI硅片（1）上部的铂电极（13）接负电位，置于SOI硅片（1）下部的铂电极（13）接正电位，铂电极（13）和纵向微弱电流测量装置（15）以及电源（14）构成纵向微弱电流测量回路，金电极（12）和横向微弱电流测量装置（16）以及电源（22）构成横向微弱电流测量回路。