[实用新型]蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统有效
申请号: | 201220493995.6 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN202945380U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 李荣林;李辉;闫杰;姜宏伟;张洪涛 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/20 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 程化铭 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统,包括真空泵组和设置在单晶炉上的抽真空管道,其中:所述的抽真空管道包括对称的左抽空管道和右抽空管道,其具体结构为:腔体设有两个贯通对称的抽空口,分别通过法兰与左抽空管道、右抽空管道密封连接,左、右抽空管道外壁分别焊有螺旋式缠绕水冷管,一个抽空管道上设有弹簧式安全泄压装置,另一个抽空管道上设有真空角阀;十字管道通过管道托架连接固定在腔体外壁上,左抽空管道和右抽空管道交汇于十字管道,通过法兰与十字管密封连接;真空泵组通过法兰与十字管道密封连接,十字管道上设有低真空计和高真空计。 | ||
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【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统,包括真空泵组和设置在单晶炉上的抽真空管道,其特征在于:所述的抽真空管道包括对称的左抽空管道和右抽空管道,其具体结构为:a) 腔体设有两个水平贯通对称的抽空口,分别通过法兰与左抽空管道、右抽空管道的一端密封连接,左、右抽空管道外壁分别焊有螺旋式缠绕水冷管,一个抽空管道上设有弹簧式安全泄压装置,另一个抽空管道上设有真空角阀;b) 十字管道通过管道托架连接固定在腔体外壁上,左抽空管道和右抽空管道的另一端汇集于十字管道,通过法兰与十字管密封连接;c) 真空泵组通过法兰与十字管道密封连接,十字管道上设有低真空计和高真空计。
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