[实用新型]一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种气相沉积设备。本实用新型的一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置，所述装置包括一石英管，所述石英管输入端通过法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有加热炉膛。本实用新型的化学气相沉积装置可兼容常压与真空两种制备石墨烯薄膜的工艺，可实现自限制与渗析两种不同机理的石墨烯薄膜生长方式，实现整个石墨烯薄膜生长过程的实时监控和全自动化。

主权项

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置，其特征在于，所述装置包括一石英管，所述石英管输入端通过法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有加热炉膛。