[实用新型]定位测量仪有效
申请号: | 201220520441.0 | 申请日: | 2012-10-11 |
公开(公告)号: | CN202793471U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 施燕莉;马瑾怡;周楠;李广宁 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01C3/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种定位测量仪,包括一测量长杆,所述测量长杆为自由伸缩测量长杆;所述测量长杆顶部设置一测距仪;在所述测量长杆位于所述测距仪下方设置至少一个固定抓。采用本实用新型的定位测量仪,测量仪器每次测量都位于同一目标位置,而且测量过程中,测量仪器也始终处于固定的位置,达到了准确定位测量位置的目的,从而减小了测量值与目标位置实际值的偏差。 | ||
搜索关键词: | 定位 测量仪 | ||
【主权项】:
一种定位测量仪,包括一测量长杆,其特征在于,所述定位测量仪还包括测距仪和固定抓,所述测量长杆为自由伸缩测量长杆,所述测距仪和固定抓设置于所述测量长杆的一端。
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