[实用新型]超薄晶片清洗花篮有效

专利信息
申请号: 201220520880.1 申请日: 2012-10-12
公开(公告)号: CN202871759U 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 陆晓东;伦淑娴;郭艳东;王巍;周涛;李媛 申请(专利权)人: 渤海大学
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 锦州辽西专利事务所 21225 代理人: 李辉
地址: 121000 辽宁省锦州*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种超薄晶片清洗花篮,其特殊之处是:它包括底座,在底座边缘均布有二~四个提杆,在提杆上由下至上安装有多个压板及一个上盖,所述压板及上盖上对应提杆位置设有插孔,在底座上表面、压板上下表面、上盖下表面上分别均布有多个垫块,在底座、压板、上盖上分别设有通孔,在底座上表面、压板上表面设有边沿,边沿上设有缺口。优点是:将原有的竖向放置超薄晶片的方式转变为横向放置的方式,避免出现松脱或破损,降低了超薄晶片的报废比例。当超薄晶片数量少的时候,清洗液的用量少,避免了浪费。清洗时,清洗液只需没过该超薄晶片清洗花篮顶部即可,节约了清洗液。
搜索关键词: 超薄 晶片 清洗 花篮
【主权项】:
一种超薄晶片清洗花篮,其特征是:它包括底座,在底座边缘均布有二~四个提杆,在提杆上由下至上安装有多个压板及一个上盖,所述压板及上盖上对应提杆位置设有插孔,在底座上表面、压板上下表面、上盖下表面上分别均布有多个垫块,在底座、压板、上盖上分别设有通孔,在底座上表面、压板上表面设有边沿,边沿上设有缺口。
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