[实用新型]用于观测电沉积微空间内真空沸腾现象的装置有效
申请号: | 201220521385.2 | 申请日: | 2012-10-12 |
公开(公告)号: | CN202814447U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 明平美;商静瑜;吕文星;郝巧玲;王俊涛;马梦蝶;王文华;张延辉;苏阳阳;包晓慧;毕向阳 | 申请(专利权)人: | 河南理工大学 |
主分类号: | G01D21/00 | 分类号: | G01D21/00 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 时立新 |
地址: | 454003 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于观测电沉积微空间内真空沸腾现象的装置,包括密闭绝缘的透明槽体,槽体内装设有含有示踪粒子的导电工作液,导电工作液内设置有阳极与阴极,阴极设置在导电工作液底部,阳极设置在导电工作液内阴极的上方,阳极和阴极分别与电沉积电源的正极和负极连接;阴极的上部设置有微沉积空间单元,用来采集微沉积空间单元的采集镜头设置在正对微沉积空间单元区域的槽体外部,采集镜头的输出端与信息处理单元连接;还包括有采集工作液温度并控制工作液温度的工作液温度采集控制单元,所述的阴极连接有阴极温度采集控制单元。本实用新型合理地构建了合适的电沉积微空间,完全达到了工艺实施要求,同时成本低,观测简单且操作简便。 | ||
搜索关键词: | 用于 观测 沉积 空间 真空 沸腾 现象 装置 | ||
【主权项】:
一种用于观测电沉积微空间内真空沸腾现象的装置,其特征在于:包括密闭绝缘的透明槽体,槽体内装设有含有示踪粒子的导电工作液,导电工作液内设置有阳极与阴极,阴极设置在导电工作液底部,阳极设置在导电工作液内阴极的上方,阳极和阴极分别与电沉积电源的正极和负极连接;阴极的上部设置有微沉积空间单元,用来采集微沉积空间单元的采集镜头设置在正对微沉积空间单元区域的槽体外部,采集镜头的输出端与信息处理单元连接;还包括有采集工作液温度并控制工作液温度的工作液温度采集控制单元,所述的阴极连接有阴极温度采集控制单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南理工大学,未经河南理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220521385.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。