[实用新型]一种专用于CdTe薄膜太阳能电池的热处理装置

摘要

本实用新型公开了一种专用于CdTe薄膜电池的热处理装置，该热处理装置包括：石墨舟和石英支架。所述的石英支架是一个长方形框架，长方形框架从前向后分为三个区域，第一区域为样品除湿区域，第二区域为样品热处理区域，第三区域为样品降温区域。石英支架贯通石墨舟中移动，使样品分别在三个区域中完成除湿，热处理，降温。免除了CdTe薄膜和CdCl2源片吸附水分对退火薄膜质量的影响，避免CdCl2残留物污染及CdTe薄膜表面氧化，省去了随后的清洗工序及由此引起的CdTe薄膜太阳能电池转换效率的衰减。

主权项

一种专用于CdTe薄膜电池的热处理装置，包括：石墨舟（1）和石英支架（2）；所述的石英支架（2）是一个长方形框架，框架长度方向两端横条（201）的两头各超出石英支架宽度1mm；框架的长度方向末端横条中间设有一推动石英支架在石墨舟内移动的手柄（202）；长方形框架内置有相互平行的四根内横条（203），将长方形框架从前向后分为三个区域，第一区域为样品除湿区域（3），第二区域为样品热处理区域（4），第三区域为样品降温区域（5）；样品热处理区域和样品降温区域各由两条内横条划分组成，样品热处理区域和样品降温区域之间间隔50～100mm，离开样品热处理区域前50～100mm为样品除湿区域；所述的石墨舟由石墨舟体（101）和石墨盖板（102）组成，石墨舟体为方形盒状，石墨舟体上部内壁四周有一L型的止口（103），用于搁置待热处理的样品（7），石墨舟体下部相对二侧壁开有一长方形的窗口（104），用于石英支架贯通其中移动；在样品热处理区域（4）和样品降温区域（5）的两内横条（203）上各设置有堵块（6），堵块的大小要与石墨舟体下部的长方形窗口（104）的尺寸相匹配，并使当石英支架在推入样品热处理区域（4）或样品降温区域（5）时，堵块正好堵住长方形窗口（104）；样品热处理区域（4）的两内横条上设置的堵块（6）上还开有几个用于通气体的小孔（601）；CdCl2源片（8）源面朝上搁置在样品热处理区域（4）的两内横条（203）内侧，并且使置于石墨舟内的待热处理的样品表面和CdCl2源片表面的距离保持在2mm～3mm。