[实用新型]用于真空器件的真空保持系统有效
| 申请号： | 201220543826.9 | 申请日： | 2012-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN202905649U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张扬;李玉江;张文凭;王怀德;陈智勇;唐松;高松海 | 申请（专利权）人： | 北京市北分仪器技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J7/14 | 分类号： | H01J7/14;H01J7/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100095 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空器件的真空保持技术领域，公开了一种用于真空器件的真空保持系统，所述真空保持系统包括：吸气剂元件、固定部和真空阀，所述吸气剂元件安装在所述固定部上，所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。本实用新型所设计的真空保持系统体积小，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 器件 保持 系统 | ||
【主权项】：
一种用于真空器件的真空保持系统，其特征在于，所述真空保持系统包括：吸气剂元件、固定部和真空阀，所述吸气剂元件安装在所述固定部上，所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。
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