[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 201220545367.8 | 申请日: | 2012-10-23 |
公开(公告)号: | CN202945363U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 高俊伟;周慧敏;汪奇;徐志群 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉,包括炉体、坩埚托杆,其还包括:设置在炉体内腔空间底部的固化毡护盘,固化毡护盘上设置有允许坩埚托杆、单晶炉的电极和排气护套穿过的通孔;设置在固化毡护盘底部的固化毡保温板,固化毡保温板上设置有允许坩埚托杆穿过的托杆孔。本实用新型提供的单晶炉,采用固化毡材料的固化毡护盘和固化毡保温板,代替现有技术中的石墨材料的炉底护盘和保温板,通过固化毡优于石墨的隔热性能,来减少炉体内热场中的热量散失,降低了加热器对电能的消耗,显著的降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种单晶炉,包括炉体、坩埚托杆,其特征在于,还包括:设置在所述炉体内腔空间底部的固化毡护盘(1),所述固化毡护盘(1)上设置有允许所述坩埚托杆、所述单晶炉的电极和排气护套穿过的通孔(2);设置在所述固化毡护盘(1)底部的固化毡保温板(3),所述固化毡保温板(3)上设置有允许所述坩埚托杆穿过的托杆孔(4)。
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