[实用新型]一种用于单晶炉的导流筒有效
申请号: | 201220549855.6 | 申请日: | 2012-10-25 |
公开(公告)号: | CN202898592U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 李广哲;赵聚来;陶建涛;李杰涛;吴双华;焦鹏 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄汇科专利商标事务所 13115 | 代理人: | 刘闻铎 |
地址: | 055550 河北省邢台*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于单晶炉的导流筒,包括石墨制成的导流筒本体,导流筒本体内腔的纵向剖面为倒梯形,其特征在于:在导流筒本体内还配装有石英加料筒,石英加料筒的形状与导流筒本体内腔相配。本实用新型采用石英加料筒直接与单晶原料进行接触,减少了石墨制成的导流筒本体与单晶原料接触的几率,有效控制了单晶硅碳含量超标的概率,使得单晶品质不断提升。加料完成后不用取出,直接进行拉晶工艺操作,节约了取出加料器所耗费的时间,避免了二次污染,保障了晶体生长环境,有效提高了单晶产出量和单晶品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 导流 | ||
【主权项】:
一种用于单晶炉的导流筒,包括石墨制成的导流筒本体,导流筒本体内腔的纵向剖面为倒梯形,其特征在于:在导流筒本体内还配装有石英加料筒,石英加料筒的形状与导流筒本体内腔相配。
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