[实用新型]基于硅片加工用花篮结构的夹持定位机构

摘要

本实用新型公开了基于硅片加工用花篮结构的夹持定位机构,它包括夹紧机构和升降机构，夹紧机构包括左、右对称设置的左、右定位夹板，水平矫正机构以及夹持动作机构，在左、右定位夹板的内侧分别安装有定位夹爪，在定位夹爪上设置有与花篮的分隔槽能够插合配合的夹爪定位凸起。本装置具有以下优点：1.定位精度高，可以达到0.05MM以内；2.夹持定位同时完成，速度快，可以1秒内结束夹持定位动作；3.夹持定位后的花篮，不会因后续的搬运移动造成定位偏差。4.利用左右定位夹板上的定位爪，插入花篮的分隔槽中，利用定位爪和沟槽的紧密配合，实现对花篮的准确定位。

主权项

基于硅片加工用花篮结构的夹持定位机构，其特征在于:它包括夹紧机构和升降机构，所述的夹紧机构包括左、右对称设置的左、右定位夹板，水平矫正机构以及夹持动作机构，在所述的左、右定位夹板的内侧分别安装有定位夹爪，在所述的定位夹爪上设置有与花篮的分隔槽能够插合配合的夹爪定位凸起，所述的水平矫正机构包括安装在左右定位夹板之间的水平矫正压板，在所述的水平矫正压板上安装有沿竖直方向设置的压板导向轴，在所述的水平矫正压板的上方安装有夹紧机构安装板，在夹紧机构安装板上装有与压板导向轴相配合的导向轴承，水平矫正压板与夹紧机构安装板之间的压板导向轴上安装有弹性机构，所述的夹持动作机构包括安装在夹紧机构安装板上的两个平行设置的滑轨，在所述的滑轨上滑动连接有左、右定位夹板安装板，在位于所述的左、右定位夹板安装板之间的夹紧机构安装板上安装有驱动安装板，在所述的驱动安装板上安装有能够驱动左、右定位夹板安装板沿左右方向运动的左、右驱动机构，所述的左、右驱动机构运动输出端分别与一侧的定位夹板安装板相连，左定位夹板与左定位夹板安装板固定相连，右定位夹板与右定位夹板安装板固定相连，所述的升降机构的运动输出端与夹紧机构固定相连以驱动夹紧机构上、下运动。