[实用新型]7N超高纯液氨无泵充瓶装置有效

专利信息
申请号: 201220565880.3 申请日: 2012-10-31
公开(公告)号: CN202972512U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 吴纳新 申请(专利权)人: 吴纳新
主分类号: F17C5/02 分类号: F17C5/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 313028 浙江省湖州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 7N超高纯液氨无泵充瓶装置,它涉及光电子级超高纯液氨的充瓶装置和方法。它包含产品罐、气化器、气化器液位计、气化器进氨阀、气化器加热器、气化器控温仪、产品罐压力传感器、产品罐液位计、液氨进料阀、充瓶阀和充瓶系统等。本专利采用气化器加热器加热气化器内的超高纯液氨,使气化器内氨的压力提高,气化器顶部与产品罐顶部连通,产品罐内的压力相应的提高,根据需要设定和控制热水温度,以此来得到合适的产品罐压力,实现无泵免污染充瓶。
搜索关键词: 高纯 液氨无泵充 瓶装
【主权项】:
7N超高纯液氨无泵充瓶装置,其特征在于它包含产品罐(1)、气化器(2)、气化器液位计(3)、气化器进氨阀(4)、气化器加热器(5)、气化器控温仪(6)、产品罐压力传感器(7)、产品罐液位计(8)、液氨进料阀(9)、充瓶阀(10)、充瓶系统(11);产品罐(1)分别与气化器(2)、产品罐压力传感器(7)、产品罐液位计(8)和充瓶系统(11)连接,气化器(2)分别与气化器控温仪(6)、气化器加热器(5)和气化器液位计(3)连接。
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