[实用新型]一种AMOLED钝化层清洗蒸镀设备有效
| 申请号： | 201220566027.3 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202898523U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 柳济宣;赵大庸;郭钟云 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/02;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种AMOLED钝化层清洗蒸镀设备，包括钝化层蒸镀机，用于蒸镀钝化层；机械手台，用于转运AMOLED基板；清洗机，用于对AMOLED基板进行蒸镀前的清洗；所述钝化层蒸镀机、机械手台和清洗机连接成一整体构成AMOLED钝化层清洗蒸镀设备。本实用新型的有益效果：本实用新型的一种AMOLED钝化层清洗蒸镀设备通过使钝化层蒸镀机3、机械手台2和清洗机1连接成一整体，提高了AMOLED基板的处理效率及清洗效率,并且通过在CVD的cassette stage上连接基板清洗装置的方式节约了安装面积，提高了空间利用率，使设备小型化，设备成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 amoled 钝化 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种AMOLED钝化层清洗蒸镀设备，包括钝化层蒸镀机，用于蒸镀钝化层；机械手台，用于转运AMOLED基板；清洗机，用于对AMOLED基板进行蒸镀前的清洗；其特征在于，所述钝化层蒸镀机、机械手台和清洗机连接成一整体构成AMOLED钝化层清洗蒸镀设备。
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