[实用新型]杂料硅铸多晶硅锭专用炉

摘要

本实用新型公开了杂料硅铸多晶硅锭专用炉，杂料硅铸多晶硅锭专用炉，包括炉体，所述炉体设有进气口和出气口，炉体内设有石墨台，所述石墨台上放置有坩埚，还包括罩盖于坩埚的加热器，罩盖于加热器的隔热笼，所述隔热笼内顶部与石墨台上表面之间的距离略小于坩埚高度的2倍。用本实用新型进行杂料硅铸多晶硅锭时，先将盛有硅原料的坩埚放置在石墨台上，闭合炉体，将炉体内抽为真空，加入保护气，加热熔化硅原料，凝固长晶，最后进行冷却。从上述工作过程可知，用本实用新型进行杂料硅铸多晶硅锭，不仅能够降低生产成本，单炉产量得到了很大的提高，而且大大提高了多晶硅锭的质量。

主权项

杂料硅铸多晶硅锭专用炉，包括炉体（1），所述炉体（1）设有进气口（4）和出气口（5），炉体（1）内设有石墨台（3），所述石墨台（3）上放置有坩埚（7），还包括罩盖于坩埚（7）的加热器（8），罩盖于加热器（8）的隔热笼（2），其特征在于：所述隔热笼（2）内顶部与石墨台（3）上表面之间的距离略小于坩埚（7）高度的2倍。